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萬級凈化工程的靜電事項
日期：2025-07-11 14:41
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摘要：
萬級凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。
1．靜電電引起的靜電電擊，引起人的不**和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；
2．靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏；
3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；
4．靜電放電的發(fā)光可導致照相肢片等感光破壞；
5．靜電的力學現(xiàn)象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；
靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導率小的非導體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動，因此表現(xiàn)為越容易帶電。
靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重，是因為不但在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。
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